时间:2026-06-09 19:57:25编辑:th
洛瑟(;)是洛瑟德国石勒苏益格-荷尔斯泰因州的一个市镇。

随着半导体制程向先进节点演进,3D 晶体管架构与多层互连堆叠技术的规模化应用,使得器件缺陷的隐蔽性与检测难度显著提升。传统光学检测技术已难以满足电学相关缺陷的识别需求,而电子束检测的效率瓶颈又制约了量产应用。DirectScan检测通过核心技术创新破解了这一行业痛点,为下一代半导体制造提供了高效、精准的检测解决方案。本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面,对该技术进行系统性解析。
一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口
当前半导体制造技术正经历关键变革:鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极(GAA)纳米带晶体管替代,中段制程(MOL)因多重图形化技术的应用,堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部,传统光学检测手段难以有效识别。
同时,先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性,集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”,此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发,成为影响良率的核心因素。
行业面临的核心矛盾在于:电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术,但传统电子束检测采用光栅扫描模式,效率远低于光学检测,无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现,为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构:PointScan 的创新逻辑
DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成,其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构,主要体现在以下三方面:
1
设计感知驱动的靶向检测
传统电子束检测采用无差别光栅扫描,需覆盖包括介质区域在内的全部区域,且无法识别被测目标的图形特征;PointScan 技术具备非接触式电学测试特性,可精准跳转至目标器件的关键位置(如焊盘、接触点),仅对有效检测区域实施电压衬度检测,完全规避介质区域的无效扫描,实现 “按需检测”。

2
检测效率的量级提升
通过 FIRE 平台的精细化版图分析,可精准筛选出需检测的 “关键区域”,大幅缩减检测范围:
后段制程金属 3 层通孔检测:仅需扫描总可检测面积的 2.5%
中段制程栅极 - 漏极短路检测:仅需扫描总接触点的 1%
栅极残筋检测:可规避 50%-75% 的介质区域,检测面积缩减至传统方案的 10% 以下
基于上述优化,PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍,每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。
3
设计感知学习与属性分析能力
DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合,可实现跨多层版图的属性提取,包括触点类型(漏极 / 栅极)、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。
eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码,可与版图特征精准匹配,工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率,快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案,为工艺优化提供数据支撑。
三、高难度场景的应用突破
PointScan 技术的低电荷沉积特性,使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破:
背侧供电网络(BSPDN)晶圆检测
键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导,导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题;PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量,有效缓解上述问题,已完成实际应用验证。
3D DRAM检测
3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积,此前检测难度较高,DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。
DRAM 阵列短路检测
独有的可控 “充电 - 检测” 功能,可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号,使特定岛状节点呈现高亮状态,清晰识别与浮空相邻触点的短路问题,该功能为传统光栅扫描技术所不具备。
四、行业落地实践与全流程应用
自 2022 年初起,eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地,目前两套设备投入大批量生产,第三套设备处于产能爬坡阶段,应用场景覆盖半导体制造全流程:
先进逻辑芯片制造
中段制程:GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测
后段制程:M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测
背侧供电网络:电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测
随机逻辑电路漏电情况评估
先进 DRAM 制造(2024-2025 年)
外围电路:栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位
存储阵列:基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测
技术总结
在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下,检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合,在保留电子束检测高灵敏度的基础上,实现了检测吞吐量的量级提升,同时破解了高难度场景的检测难题。
该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题,更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级,为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。
">DirectScan 技术解析:下一代半导体电子束检测的创新路径与应用
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东海供电所工作人员在巡查供电用电安全。 本报记者 庄钊滢 摄
他们手持红外测温仪,对准路边的一个个分线箱,仔细排查接口温度异常、线缆异物悬挂等安全隐患。“春节是用电高峰期,蟳埔村又是泉州热门旅游目的地,对保电工作提出更高要求。”今年是齐飞扎根泉州的第十年,也是这名安徽小伙坚守保电一线的第八个春节。
“比起往年,我们今年的保电工作更从容、更有底气。”齐飞高兴地告诉记者,蟳埔村去年刚完成电线缆化改造,不仅解决了“遍地路中杆”“空中蜘蛛网”现象,还实现核心景区内的双电源供电,供电可靠性大幅提升。走进一处配电室,记者还看到一台智能巡检机器人,可以不间断地对设备的温度、外观、运行环境等进行检测,及时发现隐患。
有了多重保险,齐飞与同伴们仍不敢有丝毫松懈。春节至元宵期间,他与同伴组成一支8人小队,专门负责丰泽区“滨海浪漫线”沿线的保电工作,蟳埔村是保障核心。
有“黑科技”加持,为何还需调配专人常态化巡检?“这可以规避机器巡检的漏判风险,还可以针对隐患预警作出快速响应。”齐飞介绍,蟳埔村的供电线缆总长度超10公里,分布有配电室、变电箱、分线箱约200个点位,他们每日需沿线步行巡检2至3轮。
除夕当晚,千家万户围坐吃年夜饭、看春晚时,用电需求迎来高峰,这也是齐飞和同事最紧张的时段。按照计划,齐飞和伙伴们轮流提前吃好工作餐,确保在这一关键时段,无缝衔接开展重点巡查工作。“我们的年夜饭就是工作盒饭。”齐飞告诉记者,“8年来,除夕夜我最想念的菜就是我妈做的红薯丸子烧土豆。但是,人民电业为人民,既然在这个岗位上,我们就必须履行为人民保电供电的岗位职责。”
“新的一年里,愿家人平安康健,三餐四季温暖相伴;愿工作顺利畅达,前路光明坦荡。”面对万家灯火,齐飞在工作岗位上许下新年的美好祝愿。
原标题:八年坚守,为“文旅之光”护航">八年坚守,为“文旅之光”护航
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央广网北京5月1日消息(记者 孙汝祥)截至2024年4月30日,科创板全部571家公司披露了2023年度主要经营业绩信息。
数据显示,科创板公司全年合计实现营业收入13977.8亿元,同比增长4.7%,其中,超6成公司实现营业收入正增长,47家公司营业收入增幅超过50%;全年实现净利润759.6亿元。以2019年为基数,科创板公司近4年营业收入和净利润的复合增长率分别达到23.3%和24.4%,其中,92家公司营业收入和净利润复合增长率均超过30%,187家公司连续4年营业收入均实现增长,75家公司连续4年净利润均为正增长。
2023年科创板公司毛利率水平保持高位,全年平均毛利率达到41.7%,超3成公司毛利率超过50%,59家公司毛利率较上年增加5个百分点以上。从现金流看,2023年科创板公司经营活动现金流净额合计1,395.5亿元,同比增长13.6%,显示出良好的变现能力和回款效率。
研发投入迭创新高。科技创新是国际战略博弈的主战场,科创板公司积极发挥科技创新活动主体作用,坚持创新驱动发展,研发强度保持高位,创新要素加速汇聚。2023年,科创板公司研发投入金额合计达到1,561.2亿元,同比增长14.3%,研发投入占营业收入比例中位数为12.2%,83家公司研发强度连续三年超20%。截至2023年末,科创板已汇聚超过23万人的科研人才队伍,研发人员占员工总数的比例超过3成。
创新成果不断涌现。得益于持续稳定的高研发投入,2023年科创板公司在科技创新方面取得了一系列新进展、新突破。截至2023年末,累计124家次公司牵头或者参与的项目获得国家科学技术奖等重大奖项,6成公司核心技术达到国际或者国内先进水平;累计形成发明专利超10万项,其中中芯国际、信科移动的专利均超过万项。龙芯中科推出新一代通用处理器龙芯3A6000,标志国产CPU在自碳化硅衬底全球第二,加速出海至国际一线器件企业。(央广资本眼)
">41.7%!2023科创板公司毛利率保持高位
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3月11日讯 在今天凌晨进行的欧冠1/8决赛首回合,纽卡斯尔主场1-1战平巴萨。英格兰名宿鲁尼在赛后进行了点评。
纽卡斯尔在第86分钟进球取得领先,但之后巴萨在全场补时阶段罚进点球扳平比分。希勒认为纽卡斯尔在领先后应该更注重防守,保住1-0的优势,而不是继续进攻试图打进第二球。对此鲁尼则认为,纽卡斯尔想要在首回合获得更大的比分优势是可以理解的。
鲁尼首先表示:“首先,我认为纽卡斯尔的表现出色,埃迪·豪教练的战术非常到位,纽卡斯尔是本场表现更出色的球队,本来可以赢一两个球。但在这种级别的赛事中,如果你无法抓住机会,就总是可能会给对手进球的机会,今天对巴萨就是如此。”
鲁尼接着反驳了希勒的看法:“我不同意这种观点,我认为纽卡斯尔当时就应该继续去进攻。1-0是个不错的比分,但如果你想要确保获胜,他们就需要第二个进球。有时候你会为此付出代价。但我认为这是一场精彩的比赛,今晚的比赛结束后,纽卡斯尔应该有信心去客场,因为他们踢得真的很棒。”
随后鲁尼指出:“我认为纽卡斯尔在对方禁区附近拿球时本应该踢得更谨慎一些,更好地把握传球的时机和力度。我认为他们最终只是缺少了达到顶级水准的那一步,这也是纽卡斯尔唯一的不足之处。”
鲁尼还表示:“现在他们知道自己必须去巴塞罗那,必须赢得次回合比赛才能晋级,这种感觉是不同的,他们可能会为最后的丢球而有些泄气。但我认为,纽卡斯尔今晚所做的已经证明了他们配得上这里,他们能够在这种级别的赛事中竞争,而巴萨没有预料到这一点。”
">鲁尼:纽卡领先后继续进攻是正确的,他们在次回合这么踢有望晋级
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在跨境电商的浪潮中,家具行业正经历着激烈的竞争。消费者在选择跨境电商家具时,往往会面临一个重要的决策:是更注重品牌力还是更看重性价比?这是一个需要深入探讨的话题。
品牌力是家具产品的重要资产。知名品牌通常代表着高质量、良好的设计和可靠的售后服务。消费者愿意为品牌支付更高的价格,因为他们相信品牌的声誉和形象。品牌力还可以带来品牌溢价,使企业获得更高的利润。此外,强大的品牌能够在市场上建立起消费者的忠诚度,吸引更多的回头客。
然而,性价比也是消费者关注的重点。在跨境电商家具市场中,消费者往往会比较不同产品的价格和质量。他们希望找到价格合理且质量优良的家具。性价比高的产品能够满足消费者的实际需求,同时不会让他们感到过度消费。对于一些消费者来说,他们可能更倾向于选择性价比更高的产品,而不是仅仅追求品牌。
那么,跨境电商家具企业应该如何在品牌力和性价比之间取得平衡呢?一方面,企业需要注重品牌建设。通过提供独特的设计、优质的材料和卓越的售后服务,打造具有吸引力的品牌形象。同时,积极开展市场推广和宣传活动,提高品牌的知名度和美誉度。另一方面,企业也不能忽视性价比。要通过优化供应链、降低成本和提高生产效率等方式,提供价格合理的产品。
在竞争激烈的跨境电商家具市场中,品牌力和性价比都是企业成功的关键因素。没有品牌力的产品可能难以吸引消费者的注意,而只注重性价比可能导致产品同质化和利润空间压缩。因此,企业应该根据自身的定位和目标客户群体,找到适合自己的平衡点。
对于消费者而言,在选择跨境电商家具时,也应该根据自己的需求和预算来做出决策。如果消费者更注重品质和品牌形象,愿意支付更高的价格,那么品牌力可能是重要的考虑因素。但如果消费者更注重实际性价比,那么在价格和质量之间做出明智的选择是至关重要的。
综上所述,跨境电商家具市场中,品牌力和性价比都具有重要意义。企业需要在两者之间找到平衡,以满足不同消费者的需求。消费者也应该根据自身情况做出明智的选择。只有在品牌力和性价比之间取得良好的平衡,跨境电商家具企业才能在市场中脱颖而出,赢得消费者的青睐。
">跨境电商家具:品牌力与性价比的权衡-
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经过历时七天的精彩角逐,7月27日晚,2025年“天柱山杯”少儿京剧票友大赛在潜山市新时代文明实践中心圆满落幕。
颁奖晚会在《四郎探母・坐宫》中拉开序幕,从《闹龙宫》的灵动翻跃,到跨洋而来的《贵妃醉酒》,小选手们韵味悠长的曲调、生动细腻的表演,让观众大饱耳福眼福。

据了解,此次赛事共有全国17省市、港澳台地区,以及加拿大的132个节目同场角逐。最终评选出一等奖8名、二等奖12名、三等奖18名。

“程长庚是从潜山走出去的具有世界影响的伟大艺术家。今年也是徽班进京235周年,在先生的家乡举办少儿京剧票友大赛,不仅是对历史的深情回望,更是对“徽班精神”的当代表达。潜山作为“皖源”之地,拥有深厚文化底蕴及“京剧鼻祖”程长庚这一文化名片,欢迎全国、全世界热爱京剧的朋友们,来潜山寻根探源,敬长庚,扬国粹,登天柱,得天助!”主办方天柱山管委会相关负责人表示。(余雪峰)
">2025年“天柱山杯”少儿京剧票友大赛在潜山圆满落幕
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